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產(chǎn)品名稱(chēng):
VPO-300快速退火爐

產(chǎn)品概要: 德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),最大樣品尺寸:12英寸晶圓或300mm x 300mm尺寸樣品,VPO-300支持惰性氣體保護、低真空、或高真空快速熱處理。
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快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
 


儀器特點(diǎn):
  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA;
  -  可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;
  -  加熱區域尺寸:300毫米 X 300毫米;
  -  廣泛用于太陽(yáng)能電池片快速退火工藝,如156mm x 156mm電池片,300mm x 300mm電池片等;


 
參考用戶(hù):
中科院上海技術(shù)物理所,中國電子科技集團41所,中鋁集團,西安炬光等;

關(guān)鍵詞:
快速退火爐,RTP,快速熱處理爐,
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