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電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機

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產(chǎn)品名稱(chēng):
電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機

產(chǎn)品概要: VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chǎn),臺式設計、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比,非常適合實(shí)驗室科研使用。 通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱(chēng)為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設備的示意圖。
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VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chǎn),臺式設計、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比,非常適合實(shí)驗室科研使用。
通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱(chēng)為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設備的示意圖。

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技術(shù)規格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋轉:0~10rpm;
- 熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源;
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶(hù)選擇;
- 泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動(dòng)或自動(dòng)傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
- 工藝控制:PC/PLC機制的自動(dòng)控制、數據處理、遠程支持;
- 原位監控:石英晶振監測(QCM),光學(xué)監測,殘余氣體分析,其他原位監測技術(shù)或控制;
- 襯底固定:?jiǎn)我r底固定,客戶(hù)化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;

 

參考用戶(hù):
清華大學(xué)、廣東工大、深圳大學(xué)、蘭州理工大學(xué)等。

關(guān)鍵詞:
熱蒸發(fā)鍍膜機;熱蒸發(fā)臺;蒸鍍設備;
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