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電子束蒸發(fā)鍍膜機

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產(chǎn)品名稱(chēng):
電子束蒸發(fā)鍍膜機

產(chǎn)品概要: 電子束蒸發(fā)系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜??烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chǎn),臺式設計、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比,非常適合實(shí)驗室科研使用。
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電子束蒸發(fā)系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜??烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chǎn),臺式設計、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比,非常適合實(shí)驗室科研使用。

 

技術(shù)規格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋轉:0~10rpm;
- 電子束源:Telemark電子束源,單袋或多袋電子束源可選;
- 熱蒸發(fā)源:最多配置2套熱蒸發(fā)舟(選配);
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶(hù)選擇;
- 泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動(dòng)或自動(dòng)傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
- 工藝控制:PC/PLC機制的自動(dòng)控制、數據處理、遠程支持;
- 原位監控:石英晶振監測(QCM),光學(xué)監測,殘余氣體分析,其他原位監測技術(shù)或控制;
- 襯底固定:?jiǎn)我r底固定,客戶(hù)化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;

 

參考用戶(hù):
清華大學(xué)、廈門(mén)大學(xué)、華中科大、廣東工大、深圳大學(xué)、蘭州理工大學(xué)、重慶石墨烯研究院等。

關(guān)鍵詞:
電子束蒸發(fā)鍍膜機;電子束鍍膜機;
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