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快速退火爐系列

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產(chǎn)品分類(lèi)
RTP-1200快速退火爐
韓國Ecopia公司生產(chǎn),最大樣品尺寸:15mm X 20mm。RTP-1200特點(diǎn):使用單相電,普通照明電即可使用;風(fēng)冷設計、無(wú)須采購冷水機;真空退火,可以使用氫氮混合氣(<10%比例氫氣)。
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RTP-100快速退火爐
德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),最大樣品尺寸:4英寸晶圓或者100mm x 100mm尺寸樣品,RTP-100支持惰性氣體保護、低真空或高真空快速熱處理。
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RTP-150快速退火爐
德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),最大樣品尺寸:6英寸晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品,RTP-150可以支持惰性氣體保護、低真空或高真空快速熱處理。
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VPO-300快速退火爐
德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),最大樣品尺寸:12英寸晶圓或300mm x 300mm尺寸樣品,VPO-300支持惰性氣體保護、低真空、或高真空快速熱處理。
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