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復旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗收
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復旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗收

  • 分類(lèi):新聞中心
  • 發(fā)布時(shí)間:2020-09-23 14:51
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復旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗收

  • 分類(lèi):新聞中心
  • 發(fā)布時(shí)間:2020-09-23 14:51

復旦大學(xué)微電子學(xué)院從載德半導體技術(shù)有限公司采購了兩臺RTP-100快速退火爐,一臺用于快速退火氧化工藝(RTO),一臺用于快速退火還原工藝。兩臺快速退火爐均為德國UniTemp公司生產(chǎn),放置在復旦大學(xué)張江校區,本月均通過(guò)了學(xué)校組織的驗收,正式投入科研工作。

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